硅料清洗机的分类及介绍

硅料清洗机其实就是太阳能光伏硅片（单晶和多晶都适用）的一种清洗设备，那么他主要广泛用于生产及半导体元器件生产中晶片的湿法化学工艺。该设备可有效去除晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破坏晶片表面特性。可用于完成扩散前、光刻后、后及氧化前等工艺的清洗工作。例如：RCA清洗、SPM清洗、清洗、金属离子及杂物去除清洗等。

硅料清洗机又分为全自动硅料清洗机和手动硅料清洗机

全自动硅料清洗机的特点：

（1）进口伺服驱动机构及机械手臂，清洗过程中无需人工操作。

（2）通过PLC实现控制，全部操作通过触摸屏界面一次完成。

（3）可预先设制多条清洗工艺，可同时运行多条工艺。

（4）自动化程度高，适用于批量生产，确保清洗质量的一致性。

（5）自动氮气鼓泡装置可有效提高产品质量，缩短清洗时间。

（6）可选装层流净化系统及自动配酸装置。

手动硅料清洗机特点：

（1）可根据不同的清洗工艺配置各种相应的清洗功能槽。功能槽包括：加热酸缸、功能槽包括：加热酸缸、HF腐蚀、BHF（HF恒温缓冲腐蚀）、超声清洗槽、恒温水浴、QDR（快排冲水）、电炉等。

（2）清洗功能槽模块化，各部分有独立的控制单元，可随意组合。

（3）关键件采用进口部件，提高设备的可靠性及使用寿命。

（4）采用进口耐腐蚀板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蚀。

（5）控制系统的元器件具备防腐、防潮功能，确保安全的工作环境。

（6）结构紧凑，占地面积小，造型美观、实用。

（7）操作符合人机工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、灵活。

（8）闭式清洗，有效改善工作环境，保障操作人员安全。